真空脱气过程中，关于是用油泵脱气还是用分子泵脱气，虽然说油泵可能标的这个极限真空可能是到什么零点零几个帕或者0.1帕以下，但实际上呢，样品处的压力其实它只能到几个帕的量级。对于一些微孔材料，脱气压力只到了几个帕的话，其实是比较难脱干净的。市面上的这种脱气装置的话，其实绝大多数都是油泵脱气，有一部分研究人员其实他已经很清楚这一块的差异，他会专门给自己的脱气机配上分子泵，但是只要加上分子泵组的脱气机，价格基本得到20万这个量级了。BSD-660S的仪器是油泵脱气的，BSD-660M的仪器是分子泵脱气，在监测压力的状态下，实现分子泵的原位脱气，可以获得一个高的真空，而且脱完气之后，可以直接进入接触吸附质的吸附过程，就是完全避免回填气体的影响。关于用油泵脱气跟分子泵脱气的区别。
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